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[25p-61A-6]Anisotropic band edges of (ScxGa1−x)2O3 films revealed by polarized reflectance spectroscopy

〇Kazuki koreishi1, Takeyoshi Onuma2, Takuto Soma1, Akira Ohtomo1 (1.Tokyo Tech, 2.Kogakuin Univ.)

Keywords:

Ga2O3,thin films,exciton

混晶化によるβ-Ga2O3 のバンドギャップ 制御は,パワーデバイスの耐圧向上やヘテロ接合を利用したデバイス応用への展開を可能にする.これまでに我々はβ-Ga2O3型構造を有する(ScxGa1−x)2O3薄膜を作製し,反射型電子エネルギー損失分光法 (REELS)を用いてそのバンドギャップの組成依存性を報告してきた.一方β-Ga2O3型構造の結晶にはバンド端構造に異方性があることが知られているものの,REELS ではその識別ができない.そこで今回は偏光反射分光法を用いてバンド端構造の偏光依存性を調査したので報告する.