講演情報
[25p-61A-6](ScxGa1−x)2O3薄膜の偏光反射分光とバンド端構造の異方性
〇是石 和樹1、尾沼 猛儀2、相馬 拓人1、大友 明1 (1.東工大、2.工学院大)
キーワード：
Ga2O3,薄膜,励起子
混晶化によるβ-Ga2O3 のバンドギャップ 制御は，パワーデバイスの耐圧向上やヘテロ接合を利用したデバイス応用への展開を可能にする．これまでに我々はβ-Ga2O3型構造を有する(ScxGa1−x)2O3薄膜を作製し，反射型電子エネルギー損失分光法 (REELS)を用いてそのバンドギャップの組成依存性を報告してきた．一方β-Ga2O3型構造の結晶にはバンド端構造に異方性があることが知られているものの，REELS ではその識別ができない．そこで今回は偏光反射分光法を用いてバンド端構造の偏光依存性を調査したので報告する．