Presentation Information
[25p-61B-1]Change of microscopic surface structures induced by accelerated ion irradiations: molecular dynamics simulations with machine-learning interatomic potentials and the evaluation of persistence diagrams
〇Kousuke Yamamoto1, Hisashi Higuchi1, Yumiko Kawano1, Kazuki Yamada1, Hu Li2 (1.Tokyo Electron Technology Solutions Ltd., 2.Tokyo Electron America, Inc.)
Keywords:
surface structure,molecular dynamics,persistence diagram
プラズマを用いた成膜やエッチングなどのプロセスにおいては，プラズマ中で生成されたイオンが被処理体の表面へ照射されることで特徴的な結果をしばしば引き起こすことが知られている．例えばプラズマ励起原子層堆積法におけるTi薄膜成膜ではイオンが照射された領域にのみ薄膜が形成される現象が見られており，微視的なメカニズムについては未知な点が多い．そこで今回我々はイオン照射により生じるTi表面の微視的な構造変化について，分子動力学計算およびパーシステンス図を用いた解析を行った．