講演情報
[25p-61B-1]イオン照射によるTi表面の微視的な構造変化：機械学習力場を用いた分子動力学計算とパーシステンス図による評価
〇山本 康介1、樋口 恒1、河野 有美子1、山田 一希1、李 虎2 (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ（株）、2.Tokyo Electron America, Inc.)
キーワード：
表面構造,分子動力学,パーシステンス図
プラズマを用いた成膜やエッチングなどのプロセスにおいては，プラズマ中で生成されたイオンが被処理体の表面へ照射されることで特徴的な結果をしばしば引き起こすことが知られている．例えばプラズマ励起原子層堆積法におけるTi薄膜成膜ではイオンが照射された領域にのみ薄膜が形成される現象が見られており，微視的なメカニズムについては未知な点が多い．そこで今回我々はイオン照射により生じるTi表面の微視的な構造変化について，分子動力学計算およびパーシステンス図を用いた解析を行った．