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1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[25p-61B-4]Influence of metal species introduction on the sp3-bond formation in boron nitride films

〇Yuya Asamoto^1,5, Masao Noma², Shigehiko Hasegawa³, Michiru Yamashita⁴, Keiichiro Urabe¹, Koji Eriguchi¹ (1.Kyoto Univ., 2.Shinko Seiki, 3.Osaka Univ., 4.Hyogo Pref. Inst. Technol., 5.JSPS Research Fellow)

Keywords:

boron nitride,sp3 bond,doping

窒化ホウ素（BN）はsp結合状態・構造により特性が大きく変化する魅力的材料である．我々は，膜中のsp結合構造を高度に制御可能な反応性プラズマ支援成膜（RePAC）法というBN成膜手法を提案してきた．一方で，RePAC法ではプラズマ源中の熱フィラメントに由来するタングステン（W）が混入する．我々は，W導入に伴うsp²-BN膜の光学特性変化を報告してきた．本研究では，W導入がBN膜中のsp³結合形成に及ぼす影響を解析する．

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