講演情報
[25p-61B-4]金属元素が窒化ホウ素膜中のsp3結合形成に及ぼす影響
〇朝本 雄也1,5、野間 正男2、長谷川 繁彦3、山下 満4、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.神港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター、5.学振特別研究員)
キーワード：
窒化ホウ素,sp3結合,ドーピング
窒化ホウ素（BN）はsp結合状態・構造により特性が大きく変化する魅力的材料である．我々は，膜中のsp結合構造を高度に制御可能な反応性プラズマ支援成膜（RePAC）法というBN成膜手法を提案してきた．一方で，RePAC法ではプラズマ源中の熱フィラメントに由来するタングステン（W）が混入する．我々は，W導入に伴うsp2-BN膜の光学特性変化を報告してきた．本研究では，W導入がBN膜中のsp3結合形成に及ぼす影響を解析する．