Presentation Information
[25p-61B-8]Impact of substrate type on diamond synthesis
using microwave hydrogen plasma induced chemical transport
〇Yuma Sakai1, Takumi Ito1, Hiroaki Kakiuti1, Hiromasa Ohmi1 (1.Osaka Univ.)
Keywords:
plasma,diamond
我々は、廉価な固体炭素原料から高品質ダイヤモンドを、水素プラズマ化学輸送法により合成することを目指している。これまでの研究により、水素プラズマによるエッチングと原料からの成膜前駆体供給のバランスが重要だとわかっている。今回、水素プラズマに対し異なるエッチング耐性を持つ基板を用いて成膜し、基板種が膜成長に及ぼす影響を調査した。結果としてダイヤモンド基板上でエピタキシャル成長が可能であるとわかった。