講演情報
[25p-61B-8]マイクロ波水素プラズマ化学輸送法を用いたダイヤモンド合成における基板種の影響
〇酒井 佑真1、伊藤 拓望1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.大阪大工)
キーワード：
プラズマ,ダイヤモンド
我々は、廉価な固体炭素原料から高品質ダイヤモンドを、水素プラズマ化学輸送法により合成することを目指している。これまでの研究により、水素プラズマによるエッチングと原料からの成膜前駆体供給のバランスが重要だとわかっている。今回、水素プラズマに対し異なるエッチング耐性を持つ基板を用いて成膜し、基板種が膜成長に及ぼす影響を調査した。結果としてダイヤモンド基板上でエピタキシャル成長が可能であるとわかった。