Presentation Information
[10a-N105-9]Evaluation of in-plane anisotropy of β-Ga2O3 single crystals grown by VB method using nanoindentation
〇(M2)Ryuta Ogawa1, Taishi Toshinori1 (1.Shinshu Univ.)
Keywords:
β-Ga2O3,mechanical characteristics,Nanoindentation
β-Ga₂O₃は融液成長が可能なパワーデバイス材料で、劈開性により加工が難しい。本研究では(100)、(010)、(001)面基板を回転させ、ナノインデンテーションで面内異方性を評価した。最大荷重10mNで各面に対し角度を変えて測定を行い、pop-in回数が面内の回転角度に依存して変化することが分かった。特に{100}劈開面に垂直な方向でpop-inが多く、変形しやすいことがわかった。