Presentation Information
[10a-N301-5]Dependence of In-containing under layer with green active layer on GaN substrates
〇Yoshito Ando1, Atsunori Tokushi1, Tetsuya Takeuchi1, Satoshi Kamiyama1, Motoaki Iwaya1, Kentaro Nonaka2, Yoshitaka Kuraoka2, Takashi Yoshino2 (1.Meijo Univ., 2.NGK Insulators, LTD)
Keywords:
underlaye,GaInN quantum well active layer
GaNの高温成長に伴う点欠陥は、活性層への偏析により発光特性を劣化させることが知られている。これに対し、活性層直下にIn含有層を挿入することで、欠陥の伝搬の抑制が可能であることが報告されている。本研究室において、紫色LEDにおける下地層導入の効果は報告しているが、緑色活性層におけるInNモル分率依存性の系統的検討は少ない。本研究では、緑色活性層にGaInN下地層を導入し、下地層のInNモル分率依存性を評価した。