Presentation Information
[10a-N301-8]Development of a Single-Cathode Driven Stacked GaInN μLED Array Using Conductive Vias
〇Yuki Shimizu1, Koko Fukushima1, Keisuke Takeya1, Yoshinobu Suehiro1, Tetsuya Takeuchi1, Satoshi Kamiyama1, Motoaki Iwaya1 (1.Fac.Sci.&Tech, Meijo Univ)
Keywords:
microLED,monolithic microLED arrays
GaInN系材料は、積層構造によるモノリシック集積によって高輝度かつ高画素密度のディスプレイが実現可能であり、ARディスプレイへの応用が期待されている。我々はこれまでに、RGBの3色LEDを積層し、それぞれをトンネル接合（Tunnel Junction: TJ）で接続することでフルカラー動作が可能であることを実証してきた。しかし従来構造では、各LEDにカソードが独立して形成されるため、発光面積が制限されるという課題があった。そこで本研究では、TJ層と導電性ビア構造を活用し、単一カソードで3層のLEDを駆動可能とする新たな構造を提案し、実際にデバイスを作製・評価した。