講演情報
[10a-N301-8]導電性ビアを用いた単一カソード駆動GaInN積層μLEDアレイの開発
〇清水 優輝1、福島 瑚子1、竹谷 圭右1、末広 好伸1、竹内 哲也1、上山 智1、岩谷 素顕1 (1.名城大・理工)
キーワード：
マイクロLED、モノリシック型μLEDアレイ
GaInN系材料は、積層構造によるモノリシック集積によって高輝度かつ高画素密度のディスプレイが実現可能であり、ARディスプレイへの応用が期待されている。我々はこれまでに、RGBの3色LEDを積層し、それぞれをトンネル接合（Tunnel Junction: TJ）で接続することでフルカラー動作が可能であることを実証してきた。しかし従来構造では、各LEDにカソードが独立して形成されるため、発光面積が制限されるという課題があった。そこで本研究では、TJ層と導電性ビア構造を活用し、単一カソードで3層のLEDを駆動可能とする新たな構造を提案し、実際にデバイスを作製・評価した。