[10a-N323-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[10a-N323-6] Prediction of the Electron Energy Distribution Function from Argon Optical Emission Spectra
Using a Collisional-Radiative Model

〇(M2)Joichiro Mieda¹, Simon Chouteau¹, Fatima Arellano¹, Marton Gyulai^2,3, Zoltan Donko^1,2, Peter Hartmann², Tsanko Tsankov^1,4, Uwe Czarnetzki⁴, Hamaguchi Satoshi¹ (1.Osaka Univ., 2.Wigner Research Centre for Physics, 3.Eotvos Lorand Univ., 4.Institute for Plasma and Atomic Physics)

Keywords:

Electron energy distribution function,Collisional-Radiative model

半導体製造におけるプラズマプロセスなどで用いられる低温プラズマについて，プラズマからの発光分光を利用した非侵襲的な手法を用いて，電子密度や電子エネルギー分布関数の予測を行った．高圧域では良好な予測結果が得られたが，低圧域では予測は困難であった．これは，シミュレーションモデルが粒子の空間分布を考慮していないことに起因すると考えられ，この手法の適用限界を示した．