講演情報
[10a-N323-6]衝突輻射モデルを用いたアルゴン発光分光からの電子エネルギー分布関数の予測
〇(M2)三枝 丈一郎1、Simon Chouteau1、Fatima Arellano1、Marton Gyulai2,3、Zoltan Donko1,2、Peter Hartmann2、Tsanko Tsankov1,4、Uwe Czarnetzki4、浜口 智志1 (1.大阪大工、2.Wigner Research Centre for Physics、3.Eotvos Lorand Univ.、4.Institute for Plasma and Atomic Physics)
キーワード：
電子エネルギー分布関数、衝突輻射モデル
半導体製造におけるプラズマプロセスなどで用いられる低温プラズマについて，プラズマからの発光分光を利用した非侵襲的な手法を用いて，電子密度や電子エネルギー分布関数の予測を行った．高圧域では良好な予測結果が得られたが，低圧域では予測は困難であった．これは，シミュレーションモデルが粒子の空間分布を考慮していないことに起因すると考えられ，この手法の適用限界を示した．