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[10a-N401-5]SiO2 reliability consideration in terms of oxidation kinetics difference of Ge from Si

〇Akira Toriumi1 (1.None)

Keywords:

SiO2,GeO2,crystallization

Si上極薄SiO2の信頼性をGe上GeO2で観測される局所結晶化という観点から議論する