Presentation Information
[10a-N401-5]SiO2 reliability consideration in terms of oxidation kinetics difference of Ge from Si
〇Akira Toriumi1 (1.None)
Keywords:
SiO2,GeO2,crystallization
Si上極薄SiO2の信頼性をGe上GeO2で観測される局所結晶化という観点から議論する
SiO2,GeO2,crystallization