[10a-N401-1~9] 13.3 絶縁膜技術

10:00 〜 10:15

[10a-N401-5] GeとSiの酸化機構の違いから見たSiO2膜の信頼性の考え方

〇鳥海 明¹ (1.自由業)

キーワード：

SiO2、GeO2、結晶化

Si上極薄SiO2の信頼性をGe上GeO2で観測される局所結晶化という観点から議論する