Presentation Information
[7a-N322-11]Evaluation of physical properties of r-GeO2 bulk crystals
〇Kentaro Kawanishi1, Yuri Shimizu1, Toyosuke Ibi1, Shinpei Matsuda1, Kentaro Kaneko1,2 (1.Patentix Inc., 2.ROST Ritsumeikan Univ)
Keywords:
UWBG,r-GeO2,bulk crystal
ルチル型二酸化ゲルマニウム(r-GeO2)は、新規パワー半導体材料として注目されている。本研究では作製したr-GeO2のバルク結晶に対し構造評価などの物性評価を行った。