[7a-N322-1~11] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

11:45 〜 12:00

[7a-N322-11] r-GeO₂バルク結晶の物性評価

〇川西 健太郎¹、清水 悠吏¹、衣斐 豊祐¹、松田 慎平¹、金子 健太郎^1,2 (1.Patentix株式会社、2.立命館大学総合科学技術研究機構)

キーワード：

ウルトラワイドバンドギャップ、ルチル型二酸化ゲルマニウム、バルク結晶

ルチル型二酸化ゲルマニウム(r-GeO₂)は、新規パワー半導体材料として注目されている。本研究では作製したr-GeO₂のバルク結晶に対し構造評価などの物性評価を行った。