Presentation Information
[7a-P01-7]EELS Measurements of Resist Materials on a Substrate Utilizing HAXPES
〇Satoru Suzuki1, Hirosuke Sumida2 (1.Univ. of Hyogo, 2.Mazda Motor Corp.)
Keywords:
ZEP520A,EELS,HAXPES
本研究では、基板に塗布したレジスト材料のEELSを、基板から放出される光電子のレジスト内部での散乱を利用して求めることを試みた。ZEP520Aの複素誘電関数やその他の光学特性の導出について議論する。