[7a-P01-1~9] 7 ビーム応用（ポスター）

[7a-P01-7] HAXPESを利用した基板上レジスト材料のEELS測定

〇鈴木 哲¹、住田 弘祐² (1.兵庫県立大、2.マツダ（株）)

キーワード：

ZEP520A、EELS、HAXPES

本研究では、基板に塗布したレジスト材料のEELSを、基板から放出される光電子のレジスト内部での散乱を利用して求めることを試みた。ZEP520Aの複素誘電関数やその他の光学特性の導出について議論する。