Presentation Information
[7a-P05-22]Fundamental characteristics of nanocarbon-assisted etching on semiconductor surface
- Elucidation of the effect of catalyst-film thickness on selective etching -
〇Naoki Kuwata1, Seiya Yamamoto1, Kouji Inagaki1, Kenta Arima1 (1.UOsaka)
Keywords:
Nanocarbon catalyst,Wet Etching,Germanium surface
我々は、ナノカーボン触媒と接触したGe表面が水中で選択的に溶解する「ナノカーボン・アシストエッチング」を見出した。本報告では、異なる膜厚のナノカーボン膜をパターン形成し、触媒膜厚がエッチング特性に与える影響を調査した。膜厚増加と共にエッチング速度が減少する傾向が確認された。これは、膜厚に伴う物質輸送経路の変化、及び、ナノカーボンの電気的特性に起因すると予想される。