Presentation Information
[7a-P05-77]Development of UV tape transfer of MoS2 for fabrication of transistors
〇Nanaka Hasegawa1, Satoru Fukamachi1, Maki Nakatani1, Aika Uchida1, Satoshi Honda2, Atsushi Yasui2, Hiroki Ago1,3 (1.Kyushu Univ., 2.Nitto Denko, 3.Kyushu Univ.CSeDE)
Keywords:
two-dimensional material,transfer,transistor
二硫化モリブデン(MoS2)をはじめとする遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)は、優れた特性を有するため、デバイスなどの応用に適している。MoS2の転写には、PMMAを保護膜として用いる方法が一般的であるが、課題が多い。本研究では、MoS2の転写に特化したUVテープと転写プロセスを検討するとともに、UVテープで転写したMoS2のトランジスタを作製することを試みたので報告する。