講演情報
[7a-P05-77]MoS2転写に特化したUVテープの開発とトランジスタ応用
〇長谷川 菜花1、深町 悟1、中谷 真季1、内田 愛佳1、本田 哲士2、保井 淳2、吾郷 浩樹1,3 (1.九大院総理工、2.日東電工、3.九大半導体セ)
キーワード：
二次元材料、転写、トランジスタ
二硫化モリブデン(MoS2)をはじめとする遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)は、優れた特性を有するため、デバイスなどの応用に適している。MoS2の転写には、PMMAを保護膜として用いる方法が一般的であるが、課題が多い。本研究では、MoS2の転写に特化したUVテープと転写プロセスを検討するとともに、UVテープで転写したMoS2のトランジスタを作製することを試みたので報告する。