Presentation Information
[7p-N102-2]Low-temperature Crystallization Technology Using Ion Irradiation and Applications
〇Noriaki IKENAGA1, Noriyuki SAKUDO1 (1.Kanazawa Inst. of Technol.)
Keywords:
Low temperature crystallization,Ion irradiation,Functional films
機能性薄膜の多くは結晶性の薄膜の場合にその機能性を発現するが，スパッタリングや真空蒸着などで成膜した薄膜は通常非晶質である。フレキシブルなセンサデバイスの需要が高まっている現状を踏まえ，本発表では高分子フィルム上に結晶性の機能性薄膜を直接合成できる成膜技術として，イオン照射とスパッタリング成膜を複合化した低温結晶化技術を紹介する。