講演情報
[7p-N102-2]イオン照射による低温結晶化技術とその応用
〇池永 訓昭1、作道 訓之1 (1.金沢工大工)
キーワード：
低温結晶化、イオン照射、機能性薄膜
機能性薄膜の多くは結晶性の薄膜の場合にその機能性を発現するが，スパッタリングや真空蒸着などで成膜した薄膜は通常非晶質である。フレキシブルなセンサデバイスの需要が高まっている現状を踏まえ，本発表では高分子フィルム上に結晶性の機能性薄膜を直接合成できる成膜技術として，イオン照射とスパッタリング成膜を複合化した低温結晶化技術を紹介する。