[7p-N102-1~7] The cutting edge of charged particle beam for nanotechnology

3:00 PM - 3:30 PM JST(6:00 AM - 6:30 AM UTC)

[7p-N102-4] High Spatial Resolution Microscopy Using an Electron-Beam-Excited Probe and Its Applications

〇Yu Masuda^1,3, Wataru Inami^1,3, Yoshimasa Kawata^2,3 (1.Shizuoka Univ. ENG, 2.Shizuoka Univ. RIE, 3.JST-CREST)

Keywords:

Electron-beam excitation assisted optical microscope

私たちは、集束電子線で励起したカソードルミネッセンスを光源に利用する超解像顕微鏡；電子線励起アシスト光学顕微鏡(EXA 顕微鏡)を開発している。本顕微鏡は、高い空間分解能を実現する光学顕微鏡であると同時に、試料基板や検出器を変更することでマルチモーダルな観察が可能であるという特徴を持つ。本発表では、EXA 顕微鏡の技術と、それを応用展開した顕微技術について紹介する。