講演情報
[7p-N102-4]電子線励起プローブを用いた高空間分解能顕微技術とその応用
〇益田 有1,3、居波 渉1,3、川田 善正2,3 (1.静岡大工、2.静岡大電研、3.JST-CREST)
キーワード：
電子線励起アシスト光学顕微鏡
私たちは、集束電子線で励起したカソードルミネッセンスを光源に利用する超解像顕微鏡；電子線励起アシスト光学顕微鏡(EXA 顕微鏡)を開発している。本顕微鏡は、高い空間分解能を実現する光学顕微鏡であると同時に、試料基板や検出器を変更することでマルチモーダルな観察が可能であるという特徴を持つ。本発表では、EXA 顕微鏡の技術と、それを応用展開した顕微技術について紹介する。