[7p-N301-1~17] CS.7 Code-sharing session of 6.1&13.3&13.5

5:15 PM - 5:30 PM JST(8:15 AM - 8:30 AM UTC)

[7p-N301-17] Observation of sweep-speed dependence of C-V characteristics in ferroelectric Hf_xZr_1-xO₂

〇Hiroyuki Matsukawa¹, Mitsuru Takenaka¹, Shinichi Takagi¹, Kasidit Toprasertpong¹ (1.Univ.Tokyo)

Keywords:

ferrielectrics,HZO,C-V measurement

強誘電体Hf_xZr_1-xO₂ (HZO)は強誘電分極に起因する高誘電率化が特徴であり、従来のhigh-k材料よりも高い誘電率をもつことから高容量の電子デバイスへの活用が検討されている[1]。HZOの誘電率はC-V測定で得られた容量から算出される[2]が、そのC-V測定条件は重視されておらず、報告されないことが多い。本研究では、C-V測定条件のうち、特に掃引速度が結果に及ぼす影響について検証したので報告する。