講演情報
[7p-N301-17]強誘電体HfxZr1-xO2におけるC-V特性の掃引速度依存性の観察
〇松川 浩之1、竹中 充1、高木 信一1、トープラサートポン カシディット1 (1.東大院工)
キーワード：
強誘電体、HZO、C-V測定
強誘電体HfxZr1-xO2 (HZO)は強誘電分極に起因する高誘電率化が特徴であり、従来のhigh-k材料よりも高い誘電率をもつことから高容量の電子デバイスへの活用が検討されている[1]。HZOの誘電率はC-V測定で得られた容量から算出される[2]が、そのC-V測定条件は重視されておらず、報告されないことが多い。本研究では、C-V測定条件のうち、特に掃引速度が結果に及ぼす影響について検証したので報告する。