[7p-N301-1~17] CS.7 Code-sharing session of 6.1&13.3&13.5

1:15 PM - 1:30 PM JST(4:15 AM - 4:30 AM UTC)

[7p-N301-2] Size effects on phase-formation and polarization behavior of
ZrO₂-based solid solution films

Yuta Kuribayashi¹, Takuma Ito¹, Yukie Yokota¹, 〇Hiroshi Uchida¹ (1.Sophia Univ.)

Keywords:

Ferroelectrics,Thin Films,zirconium dioxide

ZrO₂を主成分とした薄膜材料における強誘電性の発現を最終目標として見据え、今回の報告ではZrO₂およびその固溶系における相形成のプロセスおよびそのサイズ効果に関する調査結果を報告する。