[7p-N301-1~17] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

13:15 〜 13:30

[7p-N301-2] ZrO₂基固溶体薄膜における相形成および分極挙動のサイズ効果

栗林 優太¹、伊東 拓馬¹、横田 幸恵¹、〇内田 寛¹ (1.上智大)

キーワード：

強誘電体、薄膜、酸化ジルコニウム

ZrO₂を主成分とした薄膜材料における強誘電性の発現を最終目標として見据え、今回の報告ではZrO₂およびその固溶系における相形成のプロセスおよびそのサイズ効果に関する調査結果を報告する。