[7p-N301-1~17] CS.7 Code-sharing session of 6.1&13.3&13.5

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)

[7p-N301-3] Structural and stability evaluation of HfO₂-based ferroelectric Y_0.06Nb_0.06Hf_0.88O₂

〇Shutaro Asanuma¹, Shinji Migita¹, Hiroyuki Ota¹, Yukinori Morita¹, Shogo Hatayama¹ (1.SFRC AIST)

Keywords:

ferroelectric,HfO2,Co-dope

Y_0.06Nb_0.06Hf_0.88O₂(YNHO)多結晶薄膜は安定な相で強誘電体となっている可能性があるが、その構造とどの程度安定なのかについては未解明であった。Y_0.06Nb_0.06Hf_0.88O₂(YNHO)多結晶薄膜の構造を解析し、安定性について評価したのでその結果について報告する。