Presentation Information
[7p-N302-6]Evaluation of MoS2 films prepared by vacuum heating of Mo films immersed in sulfur liquid
〇(M1C)Kazushi Inoue1, Yuto Kimura1, Katsuyuki Yagi1, Koki Nakane1, Eiji Hatta1, Kazuhisa Sueoka1, Agus Subagyo1 (1.Graduate School of IST, Hokkaido Univ.)
Keywords:
Two-dimensional substance,MoS2
本研究は，硫黄液に浸したMo薄膜パターンを真空加熱することでMo薄膜を直接MoS2薄膜に変換する方法を提案し，750℃の真空加熱において良質な数層のMoS2薄膜を作製できることを実証した．また，この方法では，MoS2は予めパターニングしたMo薄膜から作製できるため，転写や加工をせずにデバイス応用が可能という特徴があるので簡便な製造プロセスを提供できる．