講演情報
[7p-N302-6]硫黄液に浸したMo薄膜の真空加熱により作製したMoS2膜の評価
〇(M1C)井上 和志1、木村 優斗1、八木 遂行1、中根 晃紀1、八田 英嗣1、末岡 和久1、Subagyo Agus1 (1.北大院情)
キーワード：
二次元物質、二硫化モリブデン
本研究は，硫黄液に浸したMo薄膜パターンを真空加熱することでMo薄膜を直接MoS2薄膜に変換する方法を提案し，750℃の真空加熱において良質な数層のMoS2薄膜を作製できることを実証した．また，この方法では，MoS2は予めパターニングしたMo薄膜から作製できるため，転写や加工をせずにデバイス応用が可能という特徴があるので簡便な製造プロセスを提供できる．