[8a-N201-1~10] 6.1 Ferroelectric thin films

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)

[8a-N201-6] Evaluation of Stress and Electrical Properties of (Ce,Mn) Co-doped ZnO Thin Films on Si substrates

〇HIROYA OISO¹, Sakaguchi Moe¹, Fujimura Norifumi¹, Yoshimura Takeshi¹ (1.Osaka Metro. Univ.)

Keywords:

ferroelectric thin film,ZnO

酸化亜鉛(ZnO)は、c軸方向に自発分極を持つウルツ鉱型圧電体であり、センサや共振器への応用が広く検討されている。ZnO薄膜における強誘電性の発現には、応力が重要な役割を果たすことが知られている。そこで本研究では、低温成長により残留応力を低減した（Ce,Mn）共置換ZnO薄膜の配向膜およびエピタキシャル膜を作製し、結晶構造や電気的特性を調べた。