Presentation Information

10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8a-N201-8]Multilayerd ferroelectric Zn(Ce,Mn)O thin films

〇Atsuhiro Tamai¹, Yudai Yoshino¹, Kazuki Nomura¹, He Jingwei¹, Kwoen Sang Hyo¹, Hideaki Adachi¹, Kanno Isaku¹ (1.Kobe UniV.)

Keywords:

ferroelectric thin films,ZnO thin films,piezoelectric thin films

近年，ZnOやAlNに代表されるウルツ鉱構造材料の強誘電性が報告され，その高いP_rから圧電や半導体分野への応用が期待されている．一方，高いE_cの低減が課題となっており，AlN薄膜では添加元素の最適化に加え，多層成膜による取り組みが行われている．一方，これまで我々はZnO薄膜のZnサイトをCeおよびMnを共置換したZn(Ce,Mn)O薄膜を作製し，その強誘電性を報告してきた．しかし，E_cは高い値を示したため，本研究ではZnO薄膜のE_c低減を目的としてZn(Ce,Mn)O薄膜の積層構造化を行い，その強誘電特性を測定した．

Back to Session information