[8a-N324-1~11] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

11:00 AM - 11:15 AM JST(2:00 AM - 2:15 AM UTC)

[8a-N324-8] Development strategy for new materials in Minimal Fab

〇Noriko Miura¹, Kazumasa Nemoto¹, Shuichi Noda¹, Shinichi Ikeda¹, Shiro Hara^1,2 (1.AIST, 2.Hundred)

Keywords:

minimalfab,new materials

ミニマルファブでは、ハーフインチウェハで研究開発から製造まで一貫して行うため、製造コストが抑制できる。加えて、低コストで変種変量生産に対応できるため、少量のデバイスを試験的に市場に投入することで、量産の要否の判断が可能である。すなわち、ミニマルファブの製造システムは、新材料デバイスの実用化、普及において、コスト、開発期間、リスクのすべてにおいて優位性があると考える。