講演情報
[8a-N324-8]ミニマルファブにおける新材料の開発戦略
〇三浦 典子1、根本 一正1、野田 周一1、池田 伸一1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.Hundred Semiconductors)
キーワード：
ミニマルファブ、新材料
ミニマルファブでは、ハーフインチウェハで研究開発から製造まで一貫して行うため、製造コストが抑制できる。加えて、低コストで変種変量生産に対応できるため、少量のデバイスを試験的に市場に投入することで、量産の要否の判断が可能である。すなわち、ミニマルファブの製造システムは、新材料デバイスの実用化、普及において、コスト、開発期間、リスクのすべてにおいて優位性があると考える。