Presentation Information
[8p-N105-7]Influence of Annealing Atmosphere on Property of Nitrogen Doped ZnO Films
〇Yumika Yamada1,2, Haruki Ohmori2, Abrarul Haque2, Shuhei Funaki2, Yasuji Yamada2 (1.Kobelco Res. Inst. Inc., 2.Shimane Univ.)
Keywords:
ZnO,Nitrogen Dope,Annealing
ZnOはGaやAlなどのドーパントの添加によりドナー性欠陥が生成し、n型導電性の制御が容易である。しかし、p型導電性については、自己補償効果によりアクセプター性欠陥が打ち消されてしまうため、制御が困難である。ZnO系膜はアニール雰囲気や温度が特性に大きく寄与することが知られていることから、本研究では、雰囲気や温度といったアニール条件がN添加ZnO膜に及ぼす影響を明らかにするため、O2およびN2雰囲気のアニール温度依存性を評価した。