講演情報
[8p-N105-7]アニール雰囲気がN添加ZnO膜の特性に及ぼす影響
〇山田 祐美加1,2、大森 陽生2、ハク アブラウル2、舩木 修平2、山田 容士2 (1.コベルコ科研、2.島根大自然)
キーワード：
酸化亜鉛、N添加、アニール
ZnOはGaやAlなどのドーパントの添加によりドナー性欠陥が生成し、n型導電性の制御が容易である。しかし、p型導電性については、自己補償効果によりアクセプター性欠陥が打ち消されてしまうため、制御が困難である。ZnO系膜はアニール雰囲気や温度が特性に大きく寄与することが知られていることから、本研究では、雰囲気や温度といったアニール条件がN添加ZnO膜に及ぼす影響を明らかにするため、O2およびN2雰囲気のアニール温度依存性を評価した。