Presentation Information

[8p-N301-8]Investigation of Mg concentration dependence during p+-GaN growth for quantum-shell devices using nanowire structures

〇Takuya Takahashi1, Kazumasa Niwa2, Aoi Nakagawa1, Koki Yamada1, Haruki Hotta1, Naoto Fukami1, Satoshi Kamiyama1, Tetuya Takeuchi1, Motoaki Iwaya1 (1.Meijo Univ., 2.E&E Evolution Co., LTD.)

Keywords:

nanowire,Multi Quantum Shell Device

本研究では、n-GaN埋め込み型量子殻レーザーの高性能化を目的に、ナノワイヤ構造におけるp⁺-GaN層のc面膜厚をMgドーピング濃度で最適化した。Mg流量を低減することで膜厚増加と成長均一性向上が確認され、リーク電流を抑制しつつ発光動作を達成した。