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3:45 PM - 4:00 PM JST(6:45 AM - 7:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8p-N301-9]Investigation of Ohmic Contacts for GaInN Nano pyramid LEDs

〇Haruki Hotta¹, Aoi Nakagawa¹, Takuya Takahashi¹, Kouki Yamada¹, Satoshi Kamiyama¹, Tetsuya Takechi¹, Motoaki Iwaya¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:

nano pyramids,red GaInN-based LED,Ti/Al/Ti/Au electrode

赤色発光を示すMQSの熱的不安定性から、低温でのオーミック電極形成が求められる。高効率な赤色ナノピラミッドLEDの実現に向け、Ti/Al/Ti/Au電極のアニール温度による特性を評価した。450℃・475℃では界面反応が不十分で抵抗が高く、600℃・550℃では拡散過多により界面が劣化した。500℃でアニールした試料は最も低い抵抗と安定したI-V特性を示し、最適な条件と考えられた。

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