講演情報
[8p-N301-9]GaInN nano pyramid LEDのオーミック電極に関する検討
〇堀田 陽生1、中川 碧1、高橋 拓也1、山田 航己1、上山 智1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1 (1.名城大理工)
キーワード：
ナノピラミッド、赤色GaInN系LED、Ti/Al/Ti/Au電極
赤色発光を示すMQSの熱的不安定性から、低温でのオーミック電極形成が求められる。高効率な赤色ナノピラミッドLEDの実現に向け、Ti/Al/Ti/Au電極のアニール温度による特性を評価した。450℃・475℃では界面反応が不十分で抵抗が高く、600℃・550℃では拡散過多により界面が劣化した。500℃でアニールした試料は最も低い抵抗と安定したI-V特性を示し、最適な条件と考えられた。