[8p-N321-1~19] 6.2 Carbon-based thin films

3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[8p-N321-7] Effect of post-annealing on nano-plate diamond prepared by narrow gap microwave plasma CVD

〇Rurii Higuchi¹, Yuma Sakai¹, Tatsuya Ichikawa¹, Hiroaki kakiuchi¹, Hiromasa Ohmi¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:

Diamond film,Microwave plasma CVD

ナノプレートダイヤモンド（np-D）は、バルク材料には無い種々の特性が期待される。我々は、高効率なnp-D形成プロセスを実現するため、近接した基板–電極間の空間に局在生成したマイクロ波プラズマを利用する狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法の適用を目指している。今回は、本手法によって形成されたnp-D膜中に含まれる非ダイヤモンド成分の除去に向け、ポストアニールの検討を行ったので、その結果について報告する。