講演情報
[8p-N321-7]狭ギャップマイクロ波プラズマCVDで形成したナノプレートダイヤモンドに対するポストアニールの効果
〇樋口 瑠洸1、酒井 佑真1、市川 達也1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)
キーワード：
ダイヤモンド膜、マイクロ波プラズマCVD
ナノプレートダイヤモンド（np-D）は、バルク材料には無い種々の特性が期待される。我々は、高効率なnp-D形成プロセスを実現するため、近接した基板–電極間の空間に局在生成したマイクロ波プラズマを利用する狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法の適用を目指している。今回は、本手法によって形成されたnp-D膜中に含まれる非ダイヤモンド成分の除去に向け、ポストアニールの検討を行ったので、その結果について報告する。