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[8p-P10-15]Evaluation of Phase Transition and Crystal Orientation of Wurtzite Structure in Rocksalt-structured MgZnO Alloys
〇Kyosuke Tanaka1, Kotaro Ogwaa1, Tomohiro Yamaguchi1, Tohru Honda1, Takeyoshi Onuma1 (1.Kogakuin Univ.)
Keywords:
ultrawide-bandgap,rocksalt structured MgZnO,mist chemical vapor deposition
ミストCVD法を用いた準安定相組成域の岩塩構造MgZnO薄膜成長において、ウルツ鉱構造への相転移が表面の異常成長として観られることが分かった。また、ウルツ鉱構造は、岩塩構造の{111}ファセットから<101>配向を有して成長しており、ピット由来の{111}ファセットの低減がウルツ鉱構造への相転移抑制につながると考えられる。