[8p-P10-1~49] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[8p-P10-15] 岩塩構造MgZnOにおけるウルツ鉱構造への相転移と配向性の評価

〇田中 恭輔¹、小川 広太郎¹、山口 智広¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大)

キーワード：

超ワイドバンドギャップ、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛、ミストCVD

ミストCVD法を用いた準安定相組成域の岩塩構造MgZnO薄膜成長において、ウルツ鉱構造への相転移が表面の異常成長として観られることが分かった。また、ウルツ鉱構造は、岩塩構造の{111}ファセットから<101>配向を有して成長しており、ピット由来の{111}ファセットの低減がウルツ鉱構造への相転移抑制につながると考えられる。