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[8p-P10-23]Investigation of the effects of initial crystalline state during sputter-deposition and annealing temperature on the electrical and optical properties of Li-doped NiO thin films

〇Taisei Hattori1, Mutsumi Sugiyama1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)

Keywords:

Nickel Oxide,hole transport layer,perovskite

本研究では、RFリアクティブマグネトロンスパッタ法を用いてNiO:Li薄膜の堆積を行い、NiO:Li薄膜の初期結晶状態とその薄膜に対するアニールが電気・光学的特性へ与える影響の検討を行った。