2025年第86回応用物理学会秋季学術講演会
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[8p-P10-23]
Li添加NiO薄膜のスパッタ成膜時の初期結晶状態とアニール温度が電気・光学的特性に与える影響
〇服部 汰星
1
、杉山 睦
1,2
(1.東理大 創域理工、2.東理大 総研)
キーワード:
NiO、正孔輸送層、ペロブスカイト
本研究では、RFリアクティブマグネトロンスパッタ法を用いてNiO:Li薄膜の堆積を行い、NiO:Li薄膜の初期結晶状態とその薄膜に対するアニールが電気・光学的特性へ与える影響の検討を行った。
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