Presentation Information
[8p-P10-36]Fabrication and optical transmittance properties of UV-transparent conductive films based on In-Al-O
〇Masaki Yasuda1, Daichi Takeya1, Kotaro Murata1, Jumpei Kamikawa1, Hiroko Kominami1, Kazuhiko Hara1, Akihiro Yamaji2, Shunsuke Kurosawa2 (1.Shizuoka Univ., 2.Tohoku Univ.)
Keywords:
Transparent electrode,UV emitting device
我々の研究室では新規紫外発光デバイスについて研究を行っており、本研究では、発光層としてZnAl2O4を用いたELランプの開発を目指している。デバイス化に向けて250 nm付近の光を透過可能な導電膜が必要である。そこで、既存の透明導電材料であるIn2O3にワイドギャップ半導体構成元素であるAlを置換することにより、深紫外領域での透過率向上を試みた。混晶材料の組成比及びアニール温度の最適化を行い、その特性を評価した。